Product laser
產(chǎn)品中心
支持G6代OLED TFT基板
兼容性好，支持OLED制程中所有膜層材料修復（P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等）
選配靈活，可根據客戶(hù)制程技術(shù)任意配置
修復成功率≥99.9%
精密的光路控制系統，高精度對位及定位精度
對接CIM系統，智能化/閉環(huán)反饋
| 設備尺寸 | 3600mm(W) x 4100mm(L)x 3400mm(H) |
| 設備環(huán)境（潔凈度） | 低于100級 |
| 玻璃基板尺寸 | 支持G4.5/G6代 |
| 激光輸出穩定性 | ≤ 2%，RMS |
| 平臺精度 | 重復定位精度≤ ±1μm；定位精度<±3μm |
| 薄膜類(lèi)型 | P-Si，Mo，Ti /Al/ Ti，ITO/Ag/ITO 等 |
| 設備產(chǎn)能 | 循環(huán)周期:≤60s&帶頂升機構 |
