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Technology Application

技術(shù)應用

激光消融技術(shù)

Laser ablation technology


應用原理 / Principle


激光消融技術(shù)是利用激光在硅片背面進(jìn)行打孔或開(kāi)槽,將部分AlOx與SiNx薄膜層打穿露出硅基體,背電場(chǎng)通過(guò)薄膜上的孔或槽與硅基體實(shí)現接觸。



工藝簡(jiǎn)介

Process Introduction

具有較高能量密度的激光束照射在被加工材料表面,材料表面吸收激光能量,溫度上升,產(chǎn)生熔融、燒蝕、蒸發(fā),從而達到去除表層的目的。激光消融智能制造設備是PERC生產(chǎn)流程中不可或缺的關(guān)鍵性裝備,PERC太陽(yáng)能電池制造只需要增加激光消融智能制造設備及其它少量輔助設備即可完成生產(chǎn)線(xiàn)的升級和改造,兼容現有生產(chǎn)線(xiàn),以相對較低的成本提升電池技術(shù)參數和生產(chǎn)效率。